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讨论利用微机械加工技术制作惯性器件的可能性、必然性，介绍了几种在惯性器件制作中常用的微机械加工工艺，举例说明用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。
微机械加工技术在惯性器件制作中的应用
【摘 要】
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讨论利用微机械加工技术制作惯性器件的可能性、必然性，介绍了几种在惯性器件制作中常用的微机械加工工艺，举例说明用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能
【机 构】
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压电与声光技术研究所
【出 处】
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中国惯性技术学会光电技术专业委员会第三次学术交流会
【发表日期】
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1998年6期
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