【摘 要】
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采用真空阴极电弧沉积技术并结合脉冲偏压的方法在1Cr17Ni2马氏体型不锈钢表面沉积了厚度达11.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜.使用扫描电镜、显微硬度计、划痕试验仪等考察
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院,湖南长沙410083
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采用真空阴极电弧沉积技术并结合脉冲偏压的方法在1Cr17Ni2马氏体型不锈钢表面沉积了厚度达11.7μm的Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜.使用扫描电镜、显微硬度计、划痕试验仪等考察了多层膜的形貌、厚度、硬度以及膜/基结合力,并利用电子万能试验机和旋转弯曲疲劳试验机测试了该多层膜对1Cr17Ni2钢基体屈服强度、抗拉强度和疲劳性能的影响.结果表明：Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜表面平整、界面明晰、结构致密；膜/基结合力为56N,显微硬度在2880～3491.5HV之间；镀膜后,钢基体的屈服强度和抗拉强度有一定程度的提高,但其疲劳性能提高显著,膜层试样较基体试样的疲劳极限提高了约11.2％,在同等应力水平下,膜层试样的疲劳寿命均高于基体试样.
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