【摘 要】
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SPM仪器发明20年来,已在纳米科技领域中发挥了不可替代的作用,SPM同时也是极有潜力的纳米计量仪器.文章对扫描探针显微镜在纳米计量中应用的一些关键问题,如误差来源,漂移补偿和纳米定位等进行了讨论.
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械及精密仪器系(合肥)
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SPM仪器发明20年来,已在纳米科技领域中发挥了不可替代的作用,SPM同时也是极有潜力的纳米计量仪器.文章对扫描探针显微镜在纳米计量中应用的一些关键问题,如误差来源,漂移补偿和纳米定位等进行了讨论.
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