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本文采用陶瓷作为太阳能电池的衬底材料,通过陶瓷烧结工艺来制备SiC衬底,利用杂质阻档层来实现在异质底材上生长多晶硅薄膜的有源层.
RTCVD多晶硅薄膜太阳能电池的陶瓷衬底材料
【摘 要】
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本文采用陶瓷作为太阳能电池的衬底材料,通过陶瓷烧结工艺来制备SiC衬底,利用杂质阻档层来实现在异质底材上生长多晶硅薄膜的有源层.
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
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中国太阳能学会2001年学术会议
【发表日期】
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2001年期
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