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溅射透明导电薄膜-AZO
溅射透明导电薄膜-AZO
来源 :中国硅酸盐学会2012年电子玻璃技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuliea
【摘 要】
:
本文介绍了TCO透明导电薄膜的应用,TCO(AZO)的性能与优点,溅射TCO(AZO)生产设备与工艺,CVD TCO工艺原理简介以及蚌埠玻璃院AZO生产线。总结了溅射AZO面临的挑战。
【作 者】
:
徐根宝
【机 构】
:
蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室
【出 处】
:
中国硅酸盐学会2012年电子玻璃技术研讨会
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
AZO
透明导电薄膜
制备工艺
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本文介绍了TCO透明导电薄膜的应用,TCO(AZO)的性能与优点,溅射TCO(AZO)生产设备与工艺,CVD TCO工艺原理简介以及蚌埠玻璃院AZO生产线。总结了溅射AZO面临的挑战。
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