【摘 要】
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以激发频率为60MHz的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积Showerhead平板电极反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071
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以激发频率为60MHz的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)大面积Showerhead平板电极反应室为研究对象,利用FlexPDE和CFD-ACE+商业软件,对反应室电极间的电场和流场分别进行了数值模拟。根据数值模拟结果可知:对于大面积Showerhead平板电极VHF-PECVD反应室,其电极间电场分布与气压分布呈现相同的非均匀分布趋势,即在大面积电极中央区域电场较强气压较高,而在电极边缘区域电场较弱气压较低。另外,模拟结果也表明,采用Showerhead电极为反应室进行气体馈入,气体总流量、工作气压和电极间距是调节电极间气压分布均匀性的重要参量；选择大电极间距、高工作气压,以及小的气体总流量有利于获得均匀的电极间气压分布。
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