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介绍了利用Macleod设计软件对ZrO2和SiO2非规整增透膜系进行了优化设计并采用真空蒸发镀和离子源辅助沉积的方法在偏硼酸钡(β-BaB2O4,简称BBO)非线性光学晶体上间隔镀制非等厚四层薄膜。同时利用分光光度计对薄膜的折射率和透过率进行了检测,结果表明镀制该膜系的BBO晶体可应用于染料激光器和钛宝石激光器的二、三倍频及和频,并为该膜系制备工艺提供了理论依据。