在微波真空冷冻干燥过程中，辉光放电消耗微波能量，致使干燥效率下降，同时影响干燥室密封性能，进而破坏其真空环境，因此抑制其辉光放电发生具有重要研究意义。以果蔬为研究对象，通过实验测出压力与击穿电场的关系曲线，研究了真空压力对微波真空冷冻干燥的影响。通过实验测试和MATLAB 分析得到真空压力与击穿电场的强度曲线，近似呈“V”形关系，表明最易放电点之前，辉光放电场强与真空压力成反比，尔后成正比。因此在微波功率不变，即微波腔体内场强不变情况下，可以通过调节真空压力来抑制辉光放电。在干燥过程中，通过观察压力传感器控制真空泵蝶阀，使真空压力始终控制在恒定场强所对应的辉光放电压力之下。实验结果表明调节真空压力能有效抑制干燥过程中的辉光放电，使物料快速高效完成干燥过程。