【摘 要】
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目的 由于超声波传感器的工作需要极高的灵敏度和稳定度,其性能优化一直是研究的重点之一。虽然超声波传感器可以工作在Rayleigh,Lamb,SH,Love等各种波形模式下,但各种传
【机 构】
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南京大学声学研究所南京210093
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目的 由于超声波传感器的工作需要极高的灵敏度和稳定度,其性能优化一直是研究的重点之一。虽然超声波传感器可以工作在Rayleigh,Lamb,SH,Love等各种波形模式下,但各种传感器的性能各有高低,难以实现所有性能参数的优化。本文通过数值模拟,希望利用高阶Lamb波的多模特性,优化超声波传感器的工作条件,目标是尽可能地获得较高的机电耦合系数,较低的插入损耗,较高的质量和电导率灵敏度以及较小的最小检测域。在模拟中,采用了新型材料SiC为基底,利用SiC基底的压电性能以及其中的高声波速度,希望相比于传统的Si基传感器,更进一步提高Lamb波传感器的机电耦合系数以及传感器中的声波波长,从而更进一步地提高这种超声波传感器的性能参数。
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