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压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能
压电薄膜材料PZT的脉冲激光法制备及其力学性能
来源 :力学2000学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kruotreo
【摘 要】
:
采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜,用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点实验,动态的观察了薄膜变形断裂过程。
【作 者】
:
罗皓
杨芝茵
郑学军
周益春
【机 构】
:
湘潭大学基础力学与材料工程研究所(湖南湘潭)
【出 处】
:
力学2000学术大会
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
压电薄膜材料
脉冲激光
法制
铁电薄膜
工艺参数
断裂过程
薄膜特性
薄膜变形
实验
拉伸
结构
单晶
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采用PLD法在单晶Si片上制备了PZT铁电薄膜,用XRD,SEM研究了薄膜的结构、形貌。讨论了工艺参数对薄膜特性的影响。在SEM下进行了拉伸和三点实验,动态的观察了薄膜变形断裂过程。
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