【摘 要】
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本文利用平面微带螺旋电感的等效电路对2.45GHz频率进行建模分析,并在此基础上对其模型进行优化设计,以期得到更高的品质因数Q值,这种电感主要用作低压小功率微波等离子体源.
【机 构】
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华东师范大学信息学院电子系,上海,200062
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本文利用平面微带螺旋电感的等效电路对2.45GHz频率进行建模分析,并在此基础上对其模型进行优化设计,以期得到更高的品质因数Q值,这种电感主要用作低压小功率微波等离子体源.研究表明,影响电感品质因数的参数有电感线圈的匝数N,微带线的宽度,匝间距等,本文对这些参数取不同的数值进行比较,获得较理想的高Q值的电感线圈尺寸.
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