【摘 要】
：
利用微波等原子体增强气相沉积技术生长金刚石-石墨复合薄膜，通过扫描电子显微镜、XRD、拉曼光谱和透射电子显微镜分析复合薄膜的微观组织结构和化学成分.结果表明：当甲烷浓度较低时(1～5 at.％)，薄膜具有典型的柱状晶结构，柱状晶面主要为(111)，金刚石相纯度较高，非金刚石相含量较低.晶粒尺寸大小约为几个微米，薄膜厚度2～3μm；当甲烷浓度增大时(6 at.％)，薄膜中金刚石相纯度降低，非金刚石相
【机 构】
：
中国科学院金属研究所,沈阳材料国家(联合)实验室,功能薄膜与界面研究部 德国锡根大学,表面技术与材
【出 处】
：
TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
论文部分内容阅读
利用微波等原子体增强气相沉积技术生长金刚石-石墨复合薄膜，通过扫描电子显微镜、XRD、拉曼光谱和透射电子显微镜分析复合薄膜的微观组织结构和化学成分.结果表明：当甲烷浓度较低时(1～5 at.％)，薄膜具有典型的柱状晶结构，柱状晶面主要为(111)，金刚石相纯度较高，非金刚石相含量较低.晶粒尺寸大小约为几个微米，薄膜厚度2～3μm；当甲烷浓度增大时(6 at.％)，薄膜中金刚石相纯度降低，非金刚石相含量增大，薄膜中晶粒尺寸急剧减小，典型的柱状晶结构消失，主要为纳米晶，晶部分晶粒呈棒状结构.
其他文献
Theoretical optical model potential (OMP) Optical model is one of the essential tools in studying nuclear reactions.In the nuclear medium:Nucleon optical potential is equivalent to the nucleon self‐en
高色散镜能够保持高反射率同时提供大色散补偿量,在大功率激光系统如CPA放大技术和光纤激光器中,相比光栅、棱镜对等色散补偿元件,容易集成化、小型化,且能够补偿高阶色散,使得高色散镜在大功率系统中能够取代光栅和棱镜对进行脉冲压缩和展宽.基于一种由共轭腔和G-T腔串联的高色散镜的初始设计,通过变矩阵方法优化膜层厚度,得到两种高色散镜,一种是750nm-850nm波长范围内群延迟色散值(Group del
以C2H2为碳源气体,Ar为放电气体,泡沫镍为基底,利用微波等离子体辅助化学气相沉积(MPCVD)法在不同微波功率、气体流量比及沉积时间下制备了多孔碳电极材料,用于高倍率电化学双电层电容器.通过XRD、Raman、SEM和TEM等检测手段对多孔碳材料的表面形貌、微结构、成分进行表征,通过循环伏安法、恒电流充放电和交流阻抗测试了其电化学性能.结果表明：泡沫镍表面明显沉积了一层多孔碳膜,相互连接成3D
亚稳立方相(c)CrAlN涂层因其优异的耐磨损和抗氧化性能被广泛地用作切削刀具的防护涂层.通过Si掺杂进一步改善CrAlN涂层的性能被普遍采用,但是,Si的添加会促使六方(w)AlN的形成而降低其力学性能.本研究拟在c/w-CrAlSiN涂层中引入纳米多层结构,使c/w-CrAlSiN层在c-CrAlN层上共格外延生长,获得单相立方结构的CrAlSiN/CrAlN纳米多层涂层.首先,采用阴极弧蒸发
本文采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃基底上制备镉掺杂氧化锌(Zn1-xCdxO)薄膜,研究镉掺入量(x=0,0.1,0.2,…1)和不同预处理温度对薄膜结构及其光学性能的影响.XRD结果表明,当150℃预处理时,当x＜0.3时Zn1-xCdxO薄膜以六角纤锌矿结构为主,呈现ZnO(100)、(002)、(101)特征峰；当x≥0.3时Zn1-xCdxO薄膜以立方晶相为主,CdO(111)、(200)出现
Cr2AlC属于三元层状化合物MAX相,其兼具金属和陶瓷的综合性能,如金属的导热、导电、可加工性,陶瓷的抗氧化、耐腐蚀等性能,可以预见其作为高温防护涂层具有广阔的应用前景。本研究利用直流磁控溅射技术先在Ti-6Al-4V基体上低温沉积了不同Al含量Cr-Al-C涂层,再通过后续热处理的方法获得Cr2AlCMAX相涂层,分析了Al含量对热处理后涂层相结构的影响；并对Cr2AlC涂层的高温氧化行为进行
TiAlN和CrAlN涂层是目前被切削刀具普遍采用的耐磨涂层材料,而TiAlN/CrAlN多层涂层组合了TiAlN涂层的热稳定性和CrAlN涂层的高温抗氧化性能的优势受到了广泛关注.本研究采用阴极弧蒸发方法制备了Ti1-xAlxN/Cr0.30Al0.70N(x=0、0.48、0.57和0.66)纳米多层涂层,研究TiAlN层成分的变化对多层涂层界面结构、力学及热性能的影响.研究表明：TiN、Ti
纳米多层涂层的界面强化效应可提高涂层的硬度以及阻碍裂纹扩展并改善涂层的韧性,因而成为涂层材料的研究热点,其中含Al氮化物纳米多层涂层由于其优良的力学性能和热性能而被应用于切削刀具.纳米多层涂层的性能与其层间界面结构密切相关,本研究选用TiAlN和ZrN两种氮化物涂层组合制备不同调制比(调制周期约5～7nm)的TiAlN/ZrN纳米多层涂层,对其界面结构及力学性能进行了细致研究.研究表明：TiAlN
由于具有优异的力学性能，纳米晶金属的形变机制成为近年来的研究热点。已有的研究表明，随着晶粒尺寸减小到30nm后，纳米晶纯金属的力学性能不再遵从Hall-Petch关系，甚至出现下降的反Hall-Petch现象。但是，在更具稳定性和工程价值的纳米晶合金中是否存在反Hall-Petch效应仍存争议。产生这种争议的原因主要在于当晶粒减小到纳米尺度后，合金的晶粒尺寸与晶内溶质含量以及晶界的成分和宽度等微结
虽然在粗晶材料中，固溶强化已得到深入研究并提出了许多成熟的理论和模型，然而，已有的固溶强化理论并不一定适用于纳米晶合金。现有研究对纳米晶合金中是否存在固溶强化以及其效果如何仍存在争议，既有强化作用更为显著的观点，也有强化作用随纳米晶粒尺寸减小而降低，甚至产生"固溶软化"现象的报道。产生这些争议的主要原因在于当纳米晶合金溶质含量改变时，合金的晶粒尺寸以及晶界的成分和宽度等各微结构因素均同时发生改变，