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高迁移率高稳定性ZnON薄膜的生长优化及TFT研制
高迁移率高稳定性ZnON薄膜的生长优化及TFT研制
来源 :第十五届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zouyongchina
【摘 要】
:
近年来,以铟镓锌氧为代表的非晶氧化物薄膜晶体管成功解决了迁移率和均匀性问题,在液晶显示或有机LED显示技术中具有非常重要的应用前景,但其光照下稳定性问题及贵重金属In和Ga的消耗仍有待解决。
【作 者】
:
程丽娜
徐阳
叶建东
汤琨
顾书林
张荣
郑有炓
【机 构】
:
南京大学电子科学与工程学院 江苏省光电信息功能材料重点实验室
【出 处】
:
第十五届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
ZnON薄膜
老化机制
薄膜晶体管
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近年来,以铟镓锌氧为代表的非晶氧化物薄膜晶体管成功解决了迁移率和均匀性问题,在液晶显示或有机LED显示技术中具有非常重要的应用前景,但其光照下稳定性问题及贵重金属In和Ga的消耗仍有待解决。
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