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本文通过磁控溅射方法制备了Li2O-Al2O3-TiO2-P2O5电解质薄膜，并研究了薄膜性能与沉积条件的关系，优化了其制备条件。从薄膜的扫描电镜图可以看出其表面平整均匀致密，X-射线衍射测试结果表明所制备薄膜为非晶态。其电化学性能通过交流阻抗、循环伏安方法进行了测量，薄膜室温离子电导率最高为2.6×10-6S/cm。在薄膜锂电池、薄膜超级电容器、微传感器及电致色变材料中均有良好的应用前景。