基于蓝宝石填充圆柱谐振腔的微波表面电阻测试

来源 :2022年全国微波毫米波会议论文集(下册) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyf20011027
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微波频段的表面电阻测试对于微波器件设计、加工工艺优化等具有重要借鉴意义。以低损耗蓝宝石部分填充的圆柱谐振腔为测试夹具,结合端面替代法和多样品校准法,获得了待测样品表面电阻与腔体无载Q值间的定量关系,并对激光刻蚀形成的周期性表面结构金属块状样品进行了测试。实验结果表明:研制的腔体可以准确地测试金属材料的表面电阻,周期性表面结构的等效电导率随刻蚀面积比(刻蚀区域占样品总面积百分比)增大而减小。研究结果为微波频段表面电阻测试提供了借鉴。
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