【摘 要】
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因太赫兹的一些新奇效应，不断受到人们的关注，成为当今科学研究的热点之一.太赫兹探测器是太赫兹应用的重要保障.1996年俄罗斯科学家Dyakonov和Shur首次在理论上预言场效应
【机 构】
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中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米器件重点实验室,江苏苏州215123
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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因太赫兹的一些新奇效应，不断受到人们的关注，成为当今科学研究的热点之一.太赫兹探测器是太赫兹应用的重要保障.1996年俄罗斯科学家Dyakonov和Shur首次在理论上预言场效应晶体管能用于探测太赫兹波.基于MESFET和CMOS的室温太赫兹探测器相继得到实验验证和演示，但灵敏度还相对较低.为了提高探测器灵敏度，本文设计并制备完成了基于碟型天线增强的AlGaN/GaN高电子迁移率场效应管的室温高灵敏太赫兹探测器.经过FDTD模拟，对天线做优化设计.
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