【摘 要】
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针对储存环自由电子激光器(SR-FEL)激光谐振腔腔镜对于光学膜系的要求,利用电子束蒸发沉积技术,研制了宽带与双带两种"HfO2/SiO2+Al2O3/SiO2"腔镜光学膜系.所研制的宽带紫外(UV)光学膜系,其光谱可调谐范围为320～390nm,在355nm中心波长的透射率测量值为T(355nm)=0.097﹪,绝对反射率测量值为R=99.349﹪;所研制的双带谐振腔光学膜系,其光谱调谐范围分别
【机 构】
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中国科学院电子学研究所激光实验室,北京,100080
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针对储存环自由电子激光器(SR-FEL)激光谐振腔腔镜对于光学膜系的要求,利用电子束蒸发沉积技术,研制了宽带与双带两种"HfO2/SiO2+Al2O3/SiO2"腔镜光学膜系.所研制的宽带紫外(UV)光学膜系,其光谱可调谐范围为320～390nm,在355nm中心波长的透射率测量值为T(355nm)=0.097﹪,绝对反射率测量值为R=99.349﹪;所研制的双带谐振腔光学膜系,其光谱调谐范围分别位于200～274nm与320～375nm.在不同波长处的光学透射率测量值分别为T(198nm)=1.275﹪,T(248nm)=0.028﹪,T(266nm)=0.100﹪,T(355nm)=0.194﹪.在不同波长处的绝对反射率测量值为R(248nm)=98.423﹪,R(266nm)=98.298﹪,R(355nm)=99.651﹪.
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