【摘 要】
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高精度4硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好,效率高.本文结合攻关项目的研究成果重点介绍了"高精度4硅片腐蚀装置"的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点以及设备的主要关键技术,并一同给出了设备的性能测试指标.
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所(中国沈阳)
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高精度4硅片腐蚀装置是采用硅微机械制造技术(MEMT)和硅微电子机械系统(MEMS)制造硅传感器的关键设备之一.它采用计算机智能控制,一次可自动完成多片4硅片的各向异性腐蚀,无需人工控制,腐蚀一致性好,效率高.本文结合攻关项目的研究成果重点介绍了"高精度4硅片腐蚀装置"的主要技术指标、腐蚀机理、工艺、结构特点以及设备的主要关键技术,并一同给出了设备的性能测试指标.
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