【摘 要】
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利用有限元分析工具ANSYS,对我们所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟和分析.在分析中,利用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型,采用了八节点等参数热单元solid70进行分析.在分析中还确立了对流和环境温度等边界条件.并通过确定加热功率的方法,来确定这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸设计,以达到气体传感器衬底的温度场分布均匀的要求.
【机 构】
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电子科学与工程学院,吉林大学(中国长春) 长春市图书馆报刊部(中国长春)
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利用有限元分析工具ANSYS,对我们所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟和分析.在分析中,利用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型,采用了八节点等参数热单元solid70进行分析.在分析中还确立了对流和环境温度等边界条件.并通过确定加热功率的方法,来确定这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸设计,以达到气体传感器衬底的温度场分布均匀的要求.
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