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A Uncooled α-Si Infrared Detector Using Polyimide As Thermal Isolation Layer
【机 构】
:
Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing,China
【出 处】
:
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
【发表日期】
:
2008年期
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