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直流磁控共溅射制备Zn-Sb热电薄膜的研究
【机 构】
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深圳大学物理科学与技术学院,薄膜物理与应用研究所,深圳市传感器技术重点实验室,深圳 518060
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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