集成电路中Au丝球焊Au-Al键合失效分析及可靠性评估

来源 :第七届全国可靠性物理学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ming20080904
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该文对某批次混合集成电路返修件Au丝球焊Au-Al键合失效进行了分析研究,通过扫描电镜微观观察和X射线能谱分析,在失效键合点及产物处发现Al、Au、Si共存,且Si含量很高。分析认为,由于Si的存在,加速了Au-Al之间的互扩散,并降低金属间化合物的强度,而返修中的封、解焊工艺产生的高温促进了Si的扩散,从而加速了Au-Al键合系统的失效。为了查明新产品中是否有类似问题,同时对新批次集成电路进行拉力试验,结果均合格。对键合力拉力数据进行了统计分析,提出了该产品键合力的可靠性评估。
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