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本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm).用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像.该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K.