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光学读出系统相关论文
光学读出的MEMS非制冷红外成像技术
本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化......
会议
光学读出系统
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单层膜结构
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