水蒸气热处理对改善氢化非晶硅薄膜钝化效果的作用

来源 :第13届中国光伏大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cntanmingyong
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非晶硅薄膜在平面显示,硅薄膜太阳电池,HIT结构晶体硅太阳电池等领域均有重要的作用,其表面态的钝化对提高其性能至关重要,是当前研究的重点.本文采用PECVD技术沉积本征非晶硅薄膜,研究水蒸气热处理对薄膜钝化效果的影响.结果表明:即使在非常低的温度下对沉积的非晶硅薄膜进行水蒸气热处理,样品的少子寿命仍有显著的提升,在210℃、90min条件下,非晶硅薄膜的钝化效果最好.C-V测试表明水蒸气热处理能明显降低界面态密度,提高界面质量;同时薄膜的固定电荷剧烈下降,说明薄膜中的缺陷得到了很好的改善.光谱椭偏测试表明薄膜的厚度和折射率都发生了改变,间接证明水蒸气热处理过程中氧进入薄膜体内,饱和了薄膜中的悬挂键等缺陷.
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