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烃类塑料因其元素成分单一,某些品种具有优异的性质被越来越多的应用于微纳芯片的制备中.但是由于其不带有特殊基团,很难与其它材料直接不可逆键合,限制了它在微纳流控芯片中的应用.包括粘性涂层贴合和加热键合等方法无法达到小于1 μm的精度,不能满足部分精度要求较高的微芯片和纳芯片的制备要求.
空气等离子体用于高质量PDMS-烃类塑料不可逆键合
【摘 要】
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烃类塑料因其元素成分单一,某些品种具有优异的性质被越来越多的应用于微纳芯片的制备中.但是由于其不带有特殊基团,很难与其它材料直接不可逆键合,限制了它在微纳流控芯片中
【机 构】
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生命分析化学国家重点实验室,南京大学,南京,210093
【出 处】
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2012年全国微纳尺度生物分离分析学术会议、第七届全国微全分析系统学术会议暨第三届国际微流控分析(西湖)学术论坛
【发表日期】
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2012年4期
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