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XRR技术在非晶超薄的高K介电薄膜研究中的应用
【机 构】
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电子科技大学 能源科学与工程学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都市,611731
【出 处】
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第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会
【发表日期】
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2012年8期
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