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本文从平板电容式微驱动器的模型出发,通过求解雷诺方程,得到了空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式。结合动力学方程,介绍了微驱动器响应时间的求解方法。计算结果表明,空气压膜阻尼效应是影响器件响应时间的重要因素。当考虑空气阻尼效应时,响应时间显著增大,其数值由不足 1ms 增大到 10ms 左右。