【摘 要】
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用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(ARM)研究了沉积态和经不同温度退火后Cu薄膜的表面形貌以及表面粗糙度.实验结果表明,在单晶硅表面通过磁控溅射制备的Cu薄膜平均晶粒尺
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,北京 100083
【出 处】
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第十三届中国体视学与图像分析学术会议
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用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(ARM)研究了沉积态和经不同温度退火后Cu薄膜的表面形貌以及表面粗糙度.实验结果表明,在单晶硅表面通过磁控溅射制备的Cu薄膜平均晶粒尺寸小于200 nm.低温退火时,Cu薄膜的晶粒大小与表面粗糙度变化不大,当退火温度达到400℃时Cu薄膜内晶粒明显长大并出现新相,同时表面粗糙度迅速升高.
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