Al合金布线材料Fe掺杂最佳含量的理论分析

来源 :2002中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jpy_2008

【摘要】

：

本文作者对氧化物半导体透明导电薄膜材料最佳掺杂含量问题作过定量理论计算,给出了一个掺杂最佳含量的表达式,定量分析Al-Fe合金布线薄膜中Fe的最佳掺杂含量.

【作者】

：

范志新陈玖琳潘良玉樊世杰

【机构】

：

河北工业大学应用物理系(天津)

【出处】

：

2002中国平板显示学术会议

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

薄膜晶体管液晶显示器布线材料铝合金掺杂含量

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