真空离子镀代替电镀功能膜研发历史及工艺研究

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离子镀是在真空状态完成所有工艺操作,对环境没有污染,对人无害,是代替污染严重的电镀技术的主要出路。离子镀膜据膜层厚度及应用可分为:离子镀装饰薄膜及离子镀功能厚膜。离子镀装饰薄膜研发主要用在提高工件装饰性和抗大气腐蚀,膜层厚度一般∠5μm,已取得成果有:(1)离子镀中间层合金+离子镀铬(呈银白色)(2)离子镀中间层合金+离子镀钛金(或锆金)+离子镀金+离子镀透明陶瓷保护膜(呈金黄色)(3)刀具超硬涂层TiN,TiZrN等;离子镀功能厚镀膜主要用在提高工件耐磨性和耐蚀性,膜层厚度40μm以上,着重进行离子镀铬合金厚镀膜代替电镀硬铬工艺研发,已取得满意成果,可以投入工业生产,可以向社会提供技术及专用设备。
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