【摘 要】
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利用多弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积CrN硬质膜,研究了基片负偏压及气体流量比F/F两个主要工艺参数对硬质膜表面形貌、成分、组织结构及性能的影响,并用空蚀
【机 构】
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清华大学摩擦学国家重点实验室(北京)
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利用多弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积CrN硬质膜,研究了基片负偏压及气体流量比F<,N2>/F<,Ar>两个主要工艺参数对硬质膜表面形貌、成分、组织结构及性能的影响,并用空蚀试验装置考察了硬质膜的抗空蚀性能.研究结果表明,基片负偏压和气体流量比显著影响CrN硬质膜的空蚀失重量和空蚀机制,CrN膜层的空蚀机制主要为膜基分离造成的膜层脱落和由于空化造成的疲劳破坏.
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