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纳米加工的关键技术是实现加工平台纳米级的调平精度,现有的多种自动调平技术均未能满足这一精度要求.本文依据纳米粒子与金属薄膜......
超快激光加工技术具备热影响区小、材料选择性小、加工精度高等独特性能,是目前超精细加工技术一种重要途径。系统方面,本文基于......
本文针对微加工系统要求高分辨率的成像系统的特点,采用折射型系统,利用最小二乘法,校正球差、彗差和畸变,设计一个缩小倍率15:1的......
该文采用AFM结合高精度三维微动工作台以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,以金刚石针尖作为加工工具,利用机械刻蚀的方法进行微......
该文系统全面地对准分子激光光束特性、准分子激光与物质相互作作、准分子激光微细加工工艺、加工装备及其在微机械系统制造领域的......
本论文以准分子激光微加工为基础,详细阐述了集准分子激光微加工、准分子激光微加工同轴显微镜、一维可同步调节线宽掩膜系统于一体......
针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路......
中科院物理化学研究所自主研发的具有国际水平的“纳米光子学超细微加工系统”近期取得了一系列重要研究成果,其中在纳米加工分辨率......
中科院理化技术研究所承担的院仪器研制项目“纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试......
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自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120mm×120mm,最小加工线宽80um,系统操作简单、运行稳定高效.实验中完成对Nd:YAG紫外激......
期刊
目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很......
介绍了自行设计的纳秒激光微加工系统的组成和结构,各个部分的功能作用和工作原理,以及基于DSP和FPGA的硬件电路设计。分析了脉冲......
随着多孔硅在室温下可以被激发出荧光的现象的发现,具有稳定发光特性的硅基结构和器件的研究和制备得到了广泛的关注,硅材料的光电......