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有限元法是一个用途广泛的工具，可用来分析各种复杂结构的电磁特性。本文利用自编的有限元程序采用不同等级的插值基函数，分析优化了毫米波Gunn管振荡器结构。结果表明，采用1.5阶有限元程序，在剖分较小未知量的情况下得到了较为精确的结果。对比商用软件HFSS仿真结果，本程序计算所得结果与其接近，并且计算时间得到缩短。