【摘 要】
：
深紫外ＫｒＦ准分子激光光刻技术对于提高光刻分辨率，发展光启程技术极限，具有重要的意义。微细加工光学技术国家重点实验室研制了一套ＫｒＦ准分子激光缩小投影光刻实验系统。这套实验系统
【机 构】
：
科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
：
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
论文部分内容阅读
深紫外ＫｒＦ准分子激光光刻技术对于提高光刻分辨率，发展光启程技术极限，具有重要的意义。微细加工光学技术国家重点实验室研制了一套ＫｒＦ准分子激光缩小投影光刻实验系统。这套实验系统的研制成功为开展准分子激光光刻技术和准分子激光与相移掩模相结合的光刻技术的研究创造了条件，对研制的这套实验系系统的进行介绍。
其他文献
中图分类号：G807 文献标识：A 文章编号：1009-9328（2017）02-021-02 摘 要 在高中体育教学中，运用体育游戏来进行教学的方式，不仅能使学生在愉悦的游戏氛围中学到更多的体育知识，同时还能使学生们的各项体育技能获得有效的锻炼。目前，体育游戏在高中体育教学中获得了大力的推广和应用，并且也得到了有效的改进和完善。因此本文对体育游戏在高中体育教学中的应用进行了深入的研究，分析了体
中图分类号：G807 文献标识：A 文章编号：1009-9328（2017）02-021-01 摘 要 本文通过对体育游戏在体育教学中开展现状的调查，重点研究体育游戏在中小学体育课中的运用。验证体育游戏教学运用合理对于提高体育课堂质量，完成教学任务有促进作用。 关键词 体育游戏 体育教学 体育游戏作为体育课堂教学中的重要环节，不仅能活跃体育课堂气氛，而且能促进体育课堂教学任务的完成，提高体育
威优77是三明市农科所用V_(20)A与明恢77配组而成的中熟偏迟早稻杂优新组合。1989年全区区试表现良好,1990年大面积示范,并制种4800多亩,1991年全区可望种植50万亩。我县199
该工作建立了“天光”装置的计算机测、控系统，实现了对装置运行状态的自动监视，对装置电源系统、充电和触发过程的计算机控制，实验数据的自动获取、存储和处理。
中图分类号：G841 文献标识：A 文章编号：1009-9328（2017）02-021-01 摘 要 行进间投篮（俗称：三步上篮）是篮球运动的最基本技术，行进间投篮教学是高校大学生体育普修教学的重要内容。研究通过教学对比实验法探究运用微课教学对高校大学生投篮教学的意义，对微课教学是否利于提高大学生行进间投篮的学习，提高学生课堂情意表现和教学效果进行深入探究。 关键词 微课 教学 投篮 运用
评价准分子激光屈光性角膜切削术（ｐｈｏｔｏｒｅｆｒａｃｔｉｖｅ ｋｅｒａｔｅｃｔｏｍｙ，ＰＲＫ）矫正近视性角膜散光的结果。方法：对２３１例（３８７只眼）近视患者按术前散光度分为Ａ（无散光）、Ｂ（散光＜２．００Ｄ）及Ｃ（散光＞２．００Ｄ）三组，并用ＰＲＫ对其近视和散光进行治疗。对手术前、后散光
中图分类号：G807 文献标识：A 文章编号：1009-9328（2017）02-021-01 摘 要 如果能在体育课的开始阶段，导入热身性体育游戏，代替传统的慢跑热身，徒手体操等活动。一方面提高学生学习兴趣，使学生一开始就很投入；另一方面促进教师专业化、时代化转变。 关键词 中小学体育课 游戏性准备活动 练习模式 一、研究现状与目的 中小学阶段准备活动从传统形式到现在的游戏形式，进行了很
“八五”国家攻关课题“花生新品种选育技术研究”,于1991年12月16～18日在青岛召开了第一次协作攻关会议。该课题由山东省农业科学院主持,下设两个专题,第一个专题“高产、优
中图分类号：G843 文献标识：A 文章编号：1009-9328（2017）02-021-01 摘 要 足球作为世界范围内影响力最大的一项运动，在各个国家的发展都受到极大的重视，不仅仅是一项简单的运动，更是一个国家体育文明的象征。就在足球发展水平还比较低的中国，如何在技工院校体育教学中运用高效的教学手段开展有效的足球教学成为了当前的热点话题。游戏是一种释放压力的方式，与足球结合起来运用在教学中可
该文介绍了作者研制的准分子激光微细加工系统。通过选用成象光学系统改进了传统的消融、刻蚀方案；具有能量效率高，单脉冲加工面积大的优点，并实现了相当好的微加工结果。