【摘 要】
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介孔材料具有独特的结构,如极高的比表面积、可调的孔径、较窄的孔径分布和多样的孔道结构,在分离提纯、催化、生物等众多领域具有潜在用途[1,2,3].本研究以CTAB为模板剂,采用溶胶-凝胶法制备有序介孔SiO2薄膜.并以旋涂法为镀膜方法,在玻璃基板上得到介孔氧化硅薄膜.通过小角X射线散射(SAXS)、扫描电镜(SEM)、椭偏仪、透射光谱等对薄膜的结构和性能进行了表征,结果显示制得的薄膜具有有序的孔道
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程学院,硅材料国家重点实验室,浙江杭州310027
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介孔材料具有独特的结构,如极高的比表面积、可调的孔径、较窄的孔径分布和多样的孔道结构,在分离提纯、催化、生物等众多领域具有潜在用途[1,2,3].本研究以CTAB为模板剂,采用溶胶-凝胶法制备有序介孔SiO2薄膜.并以旋涂法为镀膜方法,在玻璃基板上得到介孔氧化硅薄膜.通过小角X射线散射(SAXS)、扫描电镜(SEM)、椭偏仪、透射光谱等对薄膜的结构和性能进行了表征,结果显示制得的薄膜具有有序的孔道排列和较高的可见光学透过率.
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采用溶胶凝胶法,以钛酸四丁酯,乙酰丙酮和水杨酸做前驱体,溶于乙醇,在石英基板上旋涂后通过900℃退火处理,制备了电阻率低至-1×10-2Ω·cm的TiO2-C复合薄膜.复合薄膜中TiO2处于非晶态,石墨结晶C镶嵌其中起到了提高导电性的结果.通过高分辨透射电子显微镜和拉曼光谱等研究了复合薄膜的结构,并且研究了热处理时间对复合薄膜结构和性能的影响.
本文重点介绍一座以石油焦粉为燃料的大型蓄热式马蹄焰窑炉的设计特点.介绍窑炉设计过程中窑炉各部位结构,材料的选型和匹配,窑炉钢结构的优化,窑炉节能、烟气处理方面的内容以及石油焦燃料的特点和燃烧系统工艺.
采用常压化学气相沉积法(APCVD)在浮法玻璃生产线上直接制备低辐射镀膜玻璃(在线LOW-E)具有产量大、成本低、膜层硬度大、耐久性强等优点.但由于镀膜是在移动的玻璃板上进行的,镀膜工艺必须与浮法玻璃生产线相匹配,使得各项工艺参数的操作和优化难度很大.除了优良的光电性能和大面积均匀性的要求之外,还要有较高的膜层生长速率和反应气体利用率,为此,需要对镀膜过程的热力学和动力学有深入的了解.本文对反应气
以四异丙醇钛为前驱体,采用浮法在线常压化学气相沉积(APCVD)法大面积均匀制备了TiO2透明易清洁薄膜.运用X射线衍射、场发射扫描电镜、原子力探针显微镜、透射电子显微镜、椭偏仪等测试方法研究了不同前驱体浓度对TiO2薄膜微结构、可见光透过率和光诱导亲水性的影响规律.研究结果表明TiO2薄膜只存在锐钛矿相,前驱体浓度在0.44％～1.76％之间,随着前驱体浓度的提高,薄膜的结晶性能逐渐提高,薄膜厚
采用溶胶凝胶方法结合两种不同热处理工艺制备高浓度掺杂TiO2:Nb薄膜,随后将制备好的薄膜在氢气气氛下700℃退火.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、荧光光谱等手段研究了薄膜的结构、组成、微观形貌等信息.研究结果表明,掺杂Nb原子取代Ti晶格后促进了TiO2的n型导电性,使TNO薄膜具有透明导电功能.经氢气退火后锐钛矿相(101)衍射峰明显增强,TiO2:Nb薄膜的结晶性能更为优异.证明氢气退火有利
采用射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法以甲烷气体为碳源,在玻璃基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜作为保护层,并研究低气压(0.1～2.6Pa)沉积条件下薄膜的结构、氢含量、表面形貌、光学常数与摩擦磨损特性.结果表明,薄膜的拉曼光谱呈现典型的类金刚石结构,推断薄膜中氢元素含量随气压升高先减小再增大.椭偏分析结果表明薄膜的折射率与消光系数均随气压升高先增大再减小,与氢元素含量呈现相反的变化趋势
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用直流反应磁控溅射法在ITO导电玻璃上制备了非晶态氧化钨电致变色薄膜,研究了氧氩比、溅射气压、薄膜膜厚对薄膜致色效率、光学调制幅度的影响.采用FESEM、XPS对薄膜表面微观形貌及组分的化合价态进行了表征,采用紫外-可见分光光度计和电化学工作站对样品的光学性能及电致变色性能进行了研究.结果表明:当氧/氩比比值在0.2以上时,薄膜中钨元素为+6价,致色效率及可见光光学调制幅度较优;当沉积气压由1.0
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本文采用反应磁控溅射法制备二氧化硅、氮化钛及不同氮氧比的氮氧化钛(TiNxOy)薄膜,并用光谱椭偏测试与分析的方法测试拟合得到以上薄膜在300-2500nm波段的折射率与消光系数;在此基础上通过TFCalc软件光学设计、反应磁控溅射制备获得Al(红外反射层)/Ti-N-O(太阳光吸收层,包括TiNx/TiNx1Oy1/TiNx2Oy2三个吸收亚层)/SiO2:Al(减反层)光谱选择性吸收涂层,吸收