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半导体器件破坏性物理分析(Destructive Physical Analysic，简称DPA)在国内开展得较晚，该文介绍了DPA的一般程序和方法，并根据近几年来航天型号产品上的半导体器件的DPA情况，总结了半导体器件在DPA中常见不合格原因及存在问题。希望可供从事相关行业的人员参考。
半导体器件破坏性物理分析方法及常见不合格原因分析
【摘 要】
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半导体器件破坏性物理分析(Destructive Physical Analysic，简称DPA)在国内开展得较晚，该文介绍了DPA的一般程序和方法，并根据近几年来航天型号产品上的半导体器件的DPA情况，总结
【机 构】
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航天材料及工艺研究所
【出 处】
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全国第三届航空航天装备失效分析会议
【发表日期】
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2000年10期
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