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利用直流磁控溅射法在SI(111)衬底上制备了C轴择优取向一致的ZnO薄膜，在室温下对薄膜 进行了PL谱和XRD测试，ZnO薄膜的PL谱上的本征紫外光发射(UV)出现分峰现象，并伴有较宽的绿乐发射峰，XRD谱表明衬底温度对ZnO薄膜的光学性能有很大的影响，ZnO晶粒与晶粒间的晶界应力与UV分峰现象有关，而ZnO薄膜的点缺陷影响薄膜的绿光发射峰。