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简要叙述了应用响应面法获得极限状态函数。该极限状态函数具有二次多项式响应面函数的特点的过程，用响应面法获取的极限状态函数包括一、二次项和交叉项的信息。不仅使可靠性灵敏度的计算简单易行，而且使计算精度大大提高。应用响应面法对高速电主轴进行了可靠性的分析，得到了高速电主轴刚度可靠度。并探究了各参数对高速电主轴刚度可靠性的影响，为提高高速电主轴的刚度可靠性提高参考。