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采用固相反应法制备了铜锌锡硫四元化合物靶材,利用该靶材在玻璃衬底上通过射频溅射方法沉积得到了铜锌锡硫(CZTS)薄膜.利用X 射线衍射仪(XRD)对薄膜样品的结构进行了表征,采用紫外-可见-近红外分光光度计对薄膜样品的光学性能进行了测试分析,研究了溅射气压与退火条件对样品的晶体结构、光吸收系数和禁带宽度等性能的影响关系.