体-填充床复合放电反应器净化气态苯的研究

来源 :第十五届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:szf_2009
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  强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术,然而氟基等离子体特性以及多晶硅的干法制绒机制机制仍不清楚。本文利用悬浮性的微波共振探针