极紫外与软X射线多层膜技术

来源 :2005年全国光学技术及其应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhh6622692
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首先介绍了极紫外与软x射线多层膜光学技术的研究意义和主要进展.然后,介绍了作者在软X射线多层膜分束镜和X射线超反射镜方面所做的研究,及相应的实验结果。
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