论文部分内容阅读
在先进的激光加工系统中，精密运动平台和器件起着非常重要的作用，同时如何做好正确产品选择也是一个挑战.Newport在精密运动控制和器件领域有着50余年的经验，结合最新的IDL平台和器件那，我们分享和一些经验并于大家一起讨论.
用于精密激光加工的高性能运动平台和器件
【摘 要】
：
在先进的激光加工系统中，精密运动平台和器件起着非常重要的作用，同时如何做好正确产品选择也是一个挑战.Newport在精密运动控制和器件领域有着50余年的经验，结合最新的IDL平台和器件那，我们分享和一些经验并于大家一起讨论.
【机 构】
：
美国理波公司
【出 处】
：
第十届亚洲(深圳)国际激光智能制造展暨论坛、第二届亚洲(深圳)国际工业4.0展暨论坛
【发表日期】
：
2016年11期
其他文献
伴随着“中国制造2025”的深入推进，精密加工产业对于超快激光器的需求将会持续增长，同时，更多新的精密加工应用开始在市场呈现，本报告旨在探讨超快激光器的工业化生产制造、应用与普及。
会议
皮秒激光微细加工系统集成视觉检测系统&自动化系统&机器人系统在半导体晶圆划片、IC指纹识别芯片切割、电感陶瓷高速钻孔、消费电子常见脆性材料(玻璃、陶瓷、蓝宝石)切割、陶瓷基板微细切割钻子L、柔性电子薄膜切割钻孔等应用上的工艺技术研发、设备集成及成套解决方案。
会议
固体激光器以超快激光和纳秒激光为主，近年来均获得快速发展。超快激光浅层加工展现出高质量高效率，但大深度时遇到瓶颈。纳秒激光由于脉冲能量较大，所以深度能力占优，但热影响偏大。如何克服热影响和深度能力不足的问题是激光微细加工面临的挑战。本演讲论述我们对难加工材料的微细加工结果，以及以水助激光加工为代表的新工艺探索。
会议
由于应用的广泛性，晶硅功能性表面的研究开发一直颇受关注。本报告介绍了一种应用于晶硅表面亚微米结构阵列制造的超快皮秒激光辅以其他方法的复合微制造技术，基于该技术，在晶硅表面获得了各种不同的具有微-纳复合结构特征的微结构阵列，由此带来了晶硅表面在陷光、超疏水以及特殊荧光和拉曼SERS信号增强等方面的新功能。该项技术通过不同工艺对微结构的制备控制实现对其性能的调控作用，这项适用于大面积制造的、低成本的可
会议
具有微米、纳米结构特征表面其新颖、独特的电学、光学和机械等性能，材料表面功能化的纳米加工方法己吸引了广泛的研究兴趣，并在众多应用领域，如催化、清洁能源和生命科学等方面，展示了广阔的应用前景。固体材料表面的有序微/纳结构可以赋予材料独特的功能，如自清洁、超附着力、超轻型吸收性等，在工业、航空、航天、电子等领域具有广泛而深入的应用前景，发展高效和经济的制造表面微/纳结构技术具有重要的实际意义。激光加工
会议
在许多材料加工应用中，飞秒激光系统已经证明了它们的潜力。飞秒激光器的独特优势，即对金属烧蚀结构以及介质目标的高消融效率和精度在许多研究中得到证明。虽然加工质量达到了工业要求，但是为了满足经济的工业用途，加工速度需要加以改进。为了能够快速、有效的加工部件，高平均功率和重复频率是封飞秒激光系统的要求。此外，激光系统需要具借足够的强硬性和稳定性，來维持生产層面的要求。强硬性和可靠性是非常重要的工業用激光
会议
介绍准分子激光光刻、退火、微纳加工、医疗等领域应用现状和面临的挑战：包括传统工业应用的半导体集成电路光刻；高端平板显示(TFT LCD)制造产业中的低温多晶硅退火；医疗领域的308nm激光皮肤治疗等。
会议
材料表面的抗反射性能在太阳能利用、光电子产品、红外传感和成像、军事隐身、以及航空航天等领域均具有重要的应用价值。本报告对材料表面抗反射特性重要用途、表面抗反射特性的人工实现路径和方法、表面抗反射结构的研究现状及存在的问题等做了详细的论述，并对清华大学材料学院激光加工研究团队近年在超快激光制备金属表面微米、纳米与微纳米复合结构，及其在紫外-远红外超宽光谱的抗反射性能的研究工作进行重点介绍，对未来的研
会议
超快皮秒脉冲宽度的激光器是金属雕刻/标记,LED划片,薄膜去除,小構造,玻璃、蓝宝石、陶瓷切割、钻孔等到三维激光雷达的需要。为服務这些应用,达到700uj的高脉冲能量的IR、PS激光器是必需的。基于Nd∶ YLF晶体的高脉冲能量纳秒脉宽的激光技术的发展,使绿色脉冲达到100微焦耳@1千赫兹,应用范围从阿秒脉冲的产生,粒子图像测速技术(PIV),到电力行业的半导体材料退火。此外,高脉冲能量的单模(T
会议