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ZnO单晶衬底上ZnMgO薄膜的MOCVD外延生长
ZnO单晶衬底上ZnMgO薄膜的MOCVD外延生长
来源 :第十三届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tsyhome
【摘 要】
:
本文采用MOCVD 技术在ZnO单晶衬底上生长了ZnMgO薄膜。研究了ZnO单晶衬底的生长前热退火对于衬底表面形貌的影响,借助原子力显微镜(AFM)发现在900℃氧气氛下退火2 小时可以获得原子级平整表面,适于ZnMgO 薄膜的外延生长。
【作 者】
:
丁凯
胡启昌
黄丰
【机 构】
:
中国科学院福建物质结构研究所,中科院光电材料化学与物理重点实验室,福建350002
【出 处】
:
第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
ZnO衬底
ZnMgO
MOCVD
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本文采用MOCVD 技术在ZnO单晶衬底上生长了ZnMgO薄膜。研究了ZnO单晶衬底的生长前热退火对于衬底表面形貌的影响,借助原子力显微镜(AFM)发现在900℃氧气氛下退火2 小时可以获得原子级平整表面,适于ZnMgO 薄膜的外延生长。
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