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Nucleation and Selective-Area Atomic Layer Deposition of Metals and Metal Oxides
【作 者】
：
【机 构】
：
Department of Chemical and Biomolecular Engineering,North Carolina State University,Raleigh NC 27695
【出 处】
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2015 Shanghai Thin Film Conference(2015上海薄膜国际会议)
【发表日期】
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2015年期
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