【摘 要】
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提高太阳能电池表面的氮化硅薄膜材料的折射率是提高太阳能电池转换效率的有效途径。通过分析氮化硅薄膜材料的折射率与PECVD工艺条件的关系，研究了氮化硅薄膜材料的减反射特性。在优化的PECVD工艺条件下，制备出了高折射率的氮化硅薄膜材料，该材料用作太阳电池的减反射层将有效提高其转换效率。
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安 710071 西安电子科技大学微
【出 处】
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第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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提高太阳能电池表面的氮化硅薄膜材料的折射率是提高太阳能电池转换效率的有效途径。通过分析氮化硅薄膜材料的折射率与PECVD工艺条件的关系，研究了氮化硅薄膜材料的减反射特性。在优化的PECVD工艺条件下，制备出了高折射率的氮化硅薄膜材料，该材料用作太阳电池的减反射层将有效提高其转换效率。
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