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本文建立了MPT(微波等离子体炬)的等效电路模型,并对其调谐性能进行分析.根据等效模型推导出MPT反射功率系数公式,并与实测数据进行比对得到良好的匹配效果,验证了该模型的有效性.该模型对MPT性能优化和改进具有很好的理论指导意义.
MPT调谐特性的理论研究
【摘 要】
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本文建立了MPT(微波等离子体炬)的等效电路模型,并对其调谐性能进行分析.根据等效模型推导出MPT反射功率系数公式,并与实测数据进行比对得到良好的匹配效果,验证了该模型的有效性.该模型对MPT性能优化和改进具有很好的理论指导意义.
【机 构】
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浙江大学分析仪器研究中心,杭州310058
【出 处】
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2013年全国微波毫米波会议
【发表日期】
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2013年11期
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