论文部分内容阅读
本研究采用紫外光辐照溶胶一凝胶法(Sol-Gel)合成了Bi4-xLacTi3O12粉体，在Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制备了镧掺杂钛酸铋铁电薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等技术手段对Sol-Gel法制备的BTO粉体和薄膜进行了表征。并采用铁电性能测试仪测试了薄膜的电滞回线。研究了不同热处理温度对粉体物相的影响。在紫外光辐照下，纯Bi-Ti凝胶粉体在400℃处理得到无定形粉体，600℃晶化处理得到纯钙钛矿相Bi4 Ti3O12粉体；辐照后，La掺杂后的Bi-Ti凝胶粉体在500℃晶化处理就可得到纯钙钛矿相Bi4 Ti3O12粉体。光辐照的薄膜经300℃除有机物，500℃快速热处理可得到均匀致密的(020)择优取向的钙钛矿相BLT薄膜。