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该文提出了一种新型的硅微加速度计，它工作原理为差动电容，采用万向支架结构，通过四组差动电容的不同输出解算出三维加速度。该文针对这种结构作了力学计算。
一种新型三维差动加速度计
【摘 要】
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该文提出了一种新型的硅微加速度计，它工作原理为差动电容，采用万向支架结构，通过四组差动电容的不同输出解算出三维加速度。该文针对这种结构作了力学计算。
【机 构】
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大学精密仪器系
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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