矢量衍射理论和边界元方法在微光学元件中应用

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<正>近十年来衍射光学元件被广泛地应用于激光束聚焦、分束、耦合,光互连及光盘读出等.随着微电子加工设备和工艺的发展,衍射光学元件的特征尺寸越做越细,标量衍射理论不再适用于分析和设计微光学元件.因此,人们必须采用矢量衍射理论和数值计算方法分析和设计微光学元件.我们利用矢量衍射理论和边界元方法分析了:1)折射型微柱透镜的聚焦特性;2)衍射型双微柱透镜的干涉效应;3)长焦深和高分辨的微柱 Axilens 的聚焦特性;4)无孔径受限的微柱透镜的聚焦性能;5)各向同性和各向异性的微柱透镜的聚焦性能.在此.简单地介绍第三和第五部分工作.
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